徹底表徵半導體器件、材料或工藝需要能夠進行三種類型的測量。
半導體電容製造商最熟悉的。精密測量通常使用高精度源測量單元進行，以生成電流與電壓曲線。半導體行業中的交流阻抗測量通常被動元件代理商使用電容表進行。超快速是第三種半導體電容特性測試，也是最難實現的一種。從歷史上看，被動元件代理商使用多達三種不同的測試系統來獲得所有三種類型的測量。
除了購買和維護多個測試系統以及培訓人員使用它們的費用之外
三測試系統方法使得在單個應用程序中組合不同的測量類型變得困難。當使用不同的儀器在不同的測試條件下在不同的時間進行測量半導體電容時，準確關聯特定設備或材料研究樣本的結果就會成為問題。越來越多的半導體電容器件和材料需要使用多種測量類型進行測試。這使得被動元件代理商擁有一個能夠進行所有測量並從一個易於使用的被動元件代理商員界面控制的單一測試系統變得非常理想。
一種需要多次測量的測試應用是電荷泵
半導體電容這是一種眾所周知的技術，用於分析結構的半導體電容。被動元件代理商可以從電荷泵電流測量結果中提取有關器件質量和退化的重要信息，包括界面陷阱密度和平均捕獲截面。同時脈衝柵極電壓和測量直流基板電流是各種電荷泵方法的基礎，因此需要脈衝發生器和靈敏的直流電流表來進行這些被動元件代理商測量。類似地，確定光伏電池的電氣特性通常涉及測量作為所施加直流電壓的函數的電流和電容。
